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激发出样品的特征X射线一般需要能量很高的电子束、质子束或X射线。首先，入射的电子（或质子、光子）激发出基态原子的内层电子。内层电子在离开原子后会留下空穴。外层的、处于较高能级的电子在填充这些低能级空穴的时候，多余能量可能会以X射线形式放出。能量散射X射线谱仪收集测量的就是这些X射线的能量和强度。由于这些X射线的能量分布可以反映特定元素的原子特征，能量散射X射线谱可被用于测定样品中的元素组成。
电子束激发源被用于电子显微镜、扫描电子显微镜和扫描透射电子显微镜中，而X射线激发源被用于X射线荧光光谱仪中。X射线探测器可将X射线能量转换为电信号；信号随后被发送至脉冲处理器进行测量并传送到分析仪进行分析。过去最常见的探测器是硅锂（SiLi）探测器，需要用液氮冷却才能工作。如今的新系统常配置silicon drift detectors，计数速度更快，且仅需在热电冷却（甚至于室温）下就可以工作。
高能级的电子在填充低能级的空穴时所出现的能量差不一定都以X射线的形式放出，也可以转嫁给另一外层电子，使其获得足够的能量而逸出原子。这类逸出的电子被称作俄歇电子，而通过测量俄歇电子对样品进行分析的手段被称作俄歇电子能谱学（AES）。
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* 对于液态：核磁共振波谱法（注意，与气体和结晶固体相比，从液体和溶液中获得精确的结构信息仍然相当困难）
* 对于固态：X射线晶体学、电子衍射和中子衍射技术
为了确定连接性和官能团的存在，可以使用分子光谱学和固态光谱学的各种方法。
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存在于1817年至1847年和1853年至1855年。
设立于1850年人口普查之后，于2000年人口普查后撤销。
设立于1870年人口普查之后，于1960年人口普查后撤销。
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