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更新于 2026-10-20

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抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。

CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。

在抛光工艺过程中,磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污,清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质,使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。

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《当我们的爱成为香气》(우리 사랑이 향기로 남을 때,Love My Scent)为2023年上映的韩国奇幻喜剧爱情片,由《얼굴없는 보스》、《搜索》副导演任成勇执导,尹施允、 薛仁雅、鲁尚炫主演。电影讲述工作、恋爱斗不如愿的昌秀和拥有一切但恋爱不易的雅拉,在两个人的面前出现了让人陷入爱情的香水,从而展开了如魔法一般的罗曼史,2023年2月8日在韩国上映。

2021年9月,尹施允、薛仁雅确定出演爱情电影《你侬我侬》(니캉내캉),并已经开始拍摄。

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上角山龙母佛堂,简称龙母佛堂,俗称荃湾龙母庙,是香港一所供奉龙母的佛寺,位于新界荃湾老围上角山东,是一所由私人营办的佛寺。

龙母佛堂由祖籍广东顺德的廖月英居士(法号圣良,人称「二姑」,已离世)于1957年创建。廖氏终生信奉佛教,早年皈依东普陀创办人茂峰法师,并在机缘巧合之下得悉龙母德行及灵性,故立下宏愿,在有生之日兴建龙母佛堂及安老院。终于1957年获各界善信及社会贤达支持,于下葵涌建起雏型佛殿,其间曾设分堂于上环。未几因城市发展面临清拆,幸得政府拨地于荃湾上角山另建新寺。经多年艰辛筹备,终将荒凉山野开拓至今日龙母佛堂之规模。

2002年,适逢龙母佛堂重修,特别于佛堂前建起「翠羽亭」并立碑供奉廖居士纪念其事迹。

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